Close
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами: курс лекций
Москва: МИСиС, 2013
Объем: 46 стр.
ISBN: 978-5-87623-662-3
УДК: 539.219.3(075.8)
Книга Вам недоступна, для получения доступа к этому изданию обратитесь, пожалуйста, в библиотеку Вашей организации.
Рекомендации материалов по теме: нет