Close
Мобильное приложение ЭБС "Университетская Библиотека Онлайн"
Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
Дисциплина: Технология
Новосибирск: НГТУ, 2011
Объем: 296 стр.
Дополнительная информация: 2-е изд., перераб. и доп.
ISBN: 978-5-7782-1560-3
УДК: 621.38:533.9
Постраничный просмотр для данной книги Вам недоступен.
Загрузить в приложение

Библиографическое описание

Аннотация
Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны.
Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.

Содержание

Описание в RusMarc
Рекомендации материалов по теме: нет