Close
Мобильное приложение ЭБС "Университетская Библиотека Онлайн"
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Объем: 253 стр.
Под редакцией: Достанко А.П.
ISBN: 978-985-08-1993-2
УДК: 621.382
Постраничный просмотр для данной книги Вам недоступен.
Загрузить в приложение

Библиографическое описание

Аннотация
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Содержание

Описание в RusMarc
Рекомендации материалов по теме: нет